Отправляет email-рассылки с помощью сервиса Sendsay

Технологии и оборудование в производстве электроники

Подписаться «Серебряная» новостная рассылка Подписчиков 1.038 RSS
←   Декабрь 2011   →
 1
 2
 3
 4
 5
 6
 7
 8
 9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31


За последние 60 дней ни разу не выходила


Сайт рассылки: http://www.sovtest.ru
Открыта: 17-10-2008

Автор
Аргунова Е.Ю

Статистика

1.038 подписчиков
-1 за неделю
←   Все выпуски   →

Технологии и оборудование в производстве электроники


Первый российский МЭМС-акселерометр, изготовленный по технологии глубокого травления

ООО «Совтест АТЕ» успешно завершило проект по изготовлению двухосевого МЭМС-акселерометра с диапазоном измеряемых ускорений ± 30g, выполненного по технологии глубокого реактивного травления. Полученные макетные образцы акселерометра в настоящий момент проходят сертификационные испытания на соответствие международным стандартам, по результатам которых будет рассматриваться возможность создания серийного производства данных изделий в России. Стоит отметить, что это первый российский МЭМС-акселерометр, работа над которым велась на протяжении нескольких лет совместно с ведущими немецкими институтами и «Русской Ассоциацией МЭМС».

Глубокое анизотропное травление – единственный на сегодняшний день способ продвинуться вперед в создании высокочувствительных микросистем сложной формы. Это стандартный метод изготовления МЭМС, используемый многими крупными фирмами (Bosch, STM, Sony, Freescale и др.). Данная технология производства позволяет получать структуры с высоким аспектным разрешением (соотношение ширины структуры к глубине), что в свою очередь обеспечивает высокую точность и линейность измерений, а также ряд других преимуществ.

По мнению зарубежных партнеров, МЭМС-акселерометр ± 30g производства «Совтест АТЕ» является уникальным по сочетанию своих характеристик и не имеет аналогов на мировом рынке. Изделие обладает следующими достоинствами:
∙    минимальные габаритно-весовые характеристики,
∙    высокая точность и надежность,
∙    высокая стойкость к повреждающим факторам (удары, вибрация, резкие ускорения и другие помехи),
∙    широкий диапазон измеряемых ускорений,
∙    крайне малое электропотребление,
∙    оптимальная стоимость.

В январе 2012 года планируется провести ряд испытаний МЭМС-акселерометра на современной центрифуге, которая будет установлена в испытательной лаборатории «Совтест АТЕ».

В России разработка и производство МЭМС является одним из наиболее перспективных направлений инновационного развития экономики страны. Это связано в том числе и с широкой сферой применения данных изделий. Например, МЭМС-акселерометр ± 30g может быть использован в промышленной электронике, авиакосмической и транспортной сфере, автомобиле- и судостроении, а также в медицине, нефтегазовой отрасли и многих других.

В настоящий момент отечественный МЭМС-рынок находится в стадии активного роста и обладает большим потенциалом для развития данного направления. В связи с этим ООО «Совтест АТЕ» рассматривает возможность по разработке и производству МЭМС-акселерометра  ±60g.

 

 

 Оригинальная статья находится по адресу - http://www.sovtest.ru/ru/news/pervyi-rossiiskii-mems-akselerometr-izgotovle


ООО «Совтест АТЕ»
Россия, 305000, г.Курск, ул. Володарского, 49-a 
тел.: (4712) 54-54-17, 73-04-90 
факс: (4712) 56-35-50 
Москва: (495) 231-35-63 ∙
info@sovtest.ru ∙ www.sovtest.ru
 
В избранное