Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные
основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. (Заказать ...)
В настоящей книге рассмотрен комплекс вопросов о физических свойствах горных пород и физических явлениях, происходящих в них при воздействии различных полей. Дана классификация физических свойств пород, методов их определения и основных факторов, обусловливающих физико-технические параметры
пород. (Заказать ...)
Сегодня тема радиационной безопасности является одной из наиболее обсуждаемых в нашей стране. Радиационные технологии - неотъемлемая часть современной науки и техники. Радиация повсюду: в земле, в воздухе, она окружает нас. (Заказать
...)